光谱测量类

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分类名称: Energetiq Spectral Products
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LDLS EQ系列激光驱动等离子体白光光源  
LDLS EQ系列激光驱动等离子体白光光源
LDLS EQ系列白光光源是高亮度、高稳定度的等离子体宽谱光源,采用自主研发的无电极LDLS激光驱动光源技术,使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度,以产生高效的宽频谱光
EQ-10系列EUV极紫外软X射线光源  
EQ-10系列EUV极紫外软X射线光源
产品描述 EQ-10系列高频EUV独立光源系统基于Energetiq成熟的无电极Z-Pinch等离子体技术,包括无电极Z-Pinch等离子体光源集成模块、磁真空和气路子系统、控制电路和功率输出子系统。其可以直接集成到工艺过程中,特别适合要求大批量生产模拟的计量学和研究应用。
EUV光源 EQ-10HR EQ-10SX  
EUV光源 EQ-10HR EQ-10SX
EQ-10HR是满足高量产EUV光刻的光源,工作频率为10kHz。无电极z箍缩通过感应耦合连接电流与放电等离子体,使得等离子体更加稳定可控。等离子体与光源成分分隔开,减少了碎片,并保证了长的工作寿命。它可以整合到工艺设备中,可以以10 kHz的脉冲循环率连续工作上十亿次。