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品牌: Energetiq(1)
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EQ-10系列EUV极紫外软X射线光源  
EQ-10系列EUV极紫外软X射线光源
产品描述 EQ-10系列高频EUV独立光源系统基于Energetiq成熟的无电极Z-Pinch等离子体技术,包括无电极Z-Pinch等离子体光源集成模块、磁真空和气路子系统、控制电路和功率输出子系统。其可以直接集成到工艺过程中,特别适合要求大批量生产模拟的计量学和研究应用。