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DWL 8000激光直写系统
 
   
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DWL 8000激光直写系统

DWL 8000 精确的温度控制、动态的焦点追踪、closed loop 位置决定,确保完美布置和完全覆盖性的直写范围。搭配海德堡的精密软件控制可以让您在大面积范围中,也可以瞄写 2维和 3维图形新的 DWL 8000 系列,是针对微光学领域的2维和 3维的微构造形式所制作。

  • 销售价:
购买数量:
  (库存9999+)
DWL8000 多年的经验累积,使 Gray Scale 曝光技术,可以更有效率于更小的系统上直写更大的区域范围。在使用高分辨率技术于掩模板上;使用曝光强度经过调整的激光,可在连续表面上形成1个复杂的3维样式。

主要功能:

  • 最小描绘尺寸: 0.7 μm
  • 最小直写尺寸: 20 nm
  • 5 种描绘模式
  • 可转换成自动描绘模式
  • 进阶 3维 绘画方式
  • 量测/ 校直用照相机系统
  • 选择可能的激光來源
  • 可在线上(Online)传送绘画数据
  • 自动基板加载系统
  • 多种多样的绘画数据输入格式(DXF,CIF,GDSII,Gerber,STL)
应用范围:
  • Micro-optics
  • MEMS
  • Display
  • Micro sensor