LDLS EQ系列激光驱动等离子体白光光源

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LDLS EQ系列激光驱动等离子体白光光源
 
   
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LDLS EQ系列激光驱动等离子体白光光源

LDLS EQ系列白光光源是高亮度、高稳定度的等离子体宽谱光源,采用自主研发的无电极LDLS激光驱动光源技术,使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度,以产生高效的宽频谱光

  • 商品编号:G54D04874606D4
  • 货  号:G54D04874606D4
  • 品  牌:Energetiq
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产品描述:

LDLS EQ系列白光光源是高亮度、高稳定度的等离子体宽谱光源,采用自主研发的无电极LDLS激光驱动光源技术,使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度,以产生高效的宽频谱光。具有高可靠性、高稳定性、高亮度、长寿命等特点。其产品的光谱范围覆盖软X射线(SXR)、远紫外线(EUV)、深紫外线(DUV)、可见光(VIS)及红外区(IR),波长范围从170 nm至2100 nm及以上。

 

  点:

  • 激光驱动无电Z-Pinch等离子体技术
  • 宽谱覆盖170 nm - 2100 nm
  • 高效能、极高亮度
  • 涵盖氘灯、钨灯及氙弧灯功能--简化光学系统
  • 优异的空间稳定性--可用于重复性测试
  • 优异的短期与长期功率稳定性--可用于重复性测试
  • 光源校准最小化
  • 无电极残片污染--长寿命
  • 结构简单消耗成本低

  

  • UV-Vis-NIR光谱
  • 单色仪光源
  • 薄膜测量
  • 光纤/光学元件测试
  • 环境分析和检测
  • 高级成像/照明
  • 原子吸收光谱
  • 光发射电子显微镜
  • 材料表征
  • 高光谱成像
  • 气相测量
  • 高级显微镜照明
  • 内窥镜
  • 长寿命灯应用

典型参数:

技术介绍:

Energetiq自主研发的革命性技术---激光驱动无电极Z-Pinch等离子体技术采用连续激光直接加热氙等离子体至所需的温度,以获取高效、高亮度的宽谱光源,光谱范围覆盖从深紫外到近红外,并且延长了灯的使用寿命。其独特的Z-Pinch等离子体技术采用无电极设计,以电感耦合方式将电流耦合入等离子体中,等离子体被磁场限制以远离光源组件内壁并被电磁场束缚在小孔几何中心,从而达到热负载极小化,极大减少残片污染并提供极好的空间稳定性,产生性能优越的EUV和SXR光。

传统方法(如弧光灯,氙灯)采用电极将强放电电流导入等离子体中,电极与高温等离子体接触而容易导致腐蚀、开裂甚至融化,产生电极残片污染光学系统,光源的亮度、紫外能量及使用寿命都非常有限。

        上图为激光驱动无电极Z-Pinch等离子体技术原理图

       上图为宽带光源功率衰减曲线图

                  等离子体斑大小中心位置稳定性

(等离子体斑大小60 μm*140 μm;中心位置稳定性:水平0.145 µm 垂直0.094 µm)