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EQ-10系列EUV极紫外软X射线光源
 
   
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EQ-10系列EUV极紫外软X射线光源

产品描述 EQ-10系列高频EUV独立光源系统基于Energetiq成熟的无电极Z-Pinch等离子体技术,包括无电极Z-Pinch等离子体光源集成模块、磁真空和气路子系统、控制电路和功率输出子系统。其可以直接集成到工艺过程中,特别适合要求大批量生产模拟的计量学和研究应用。

  • 商品编号:G54D05BE36B29C
  • 货  号:G54D05BE36B29C
  • 品  牌:Energetiq
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产品描述:

EQ-10系列高频EUV独立光源系统基于Energetiq成熟的无电极Z-Pinch等离子体技术,包括无电极Z-Pinch等离子体光源集成模块、真空和气路子系统、控制电路和功率输出子系统。可以直接集成到工艺过程中,特别适合要求大批量生产模拟的计量学和研究应用。EQ-10型可以在2π球面度的EUV输出功率高达10 W,并以2 kHz的脉冲重复频率连续运行。EQ-10HP的输入功率亮度显著高于之前的EQ-10型,可以在2π 球面度的EUV输出功率高达20 W,并以2.5 kHz的脉冲重复频率连续运行。

   点:

l 激光驱动等离子体

l 小直径等离子体

l 极少碎片污染

l 低氙气消耗流量

l 消耗成本最小化

l 底座占地面积小

l 专利的无电Z-Pinch等离子体技术

  • CE认证且符合SEMI S2-0703标准

  用

l 缺陷检测(-10/-HR)

l EUV掩膜板检测(-HP)

l EUV计量学(-10/-HP/-HR)

l 耐EUV开发(-10/-HP/-HR)

l EUV显微镜(-10/-HP/-HR)

l 加速光学EUV测试(-HR)

l 水窗显微镜(-SXR)

  • 微光束细胞探测(-SXR

技术介绍 :

激光驱动无电极Z-Pinch等离子体技术原理图

Energetiq自主研发的革命性技术---激光驱动无电极Z-Pinch等离子体技术采用连续激光直接加热氙等离子体至所需的温度,以获取高效、高亮度的宽谱光源,光谱范围覆盖从深紫外到近红外,并且延长了灯的使用寿命。其独特的Z-Pinch等离子体技术采用无电极设计,以电感耦合方式将电流耦合入等离子体中,等离子体被磁场限制以远离光源组件内壁并被电磁场束缚在小孔几何中心,从而达到热负载极小化,极大减少残片污染并提供极好的空间稳定性,产生性能优越的EUV和SXR光,结构简单且成本低廉。

而传统方法(如弧光灯,氙灯)采用电极将强放电电流导入等离子体中,电极与高温等离子体(约500,000 )接触而容易导致腐蚀、开裂甚至融化,产生电极残片污染光学系统,光源的亮度、紫外能量及使用寿命都非常有限。